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罕王微電子硅晶圓清洗用超純水系統

2018-06-20 14:43:43

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  罕王微電子硅晶圓清洗用超純水系統

  項目背景:

  縱觀世界,當智能手機、汽車電子、機器人與無人機等產業在一點一點悄然崛起時,MEMS也在走進人們的視野中。MEMS(全稱Micro Electromechanical System),中文稱微機電系統(以下簡稱微電子),是一種尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置,主要由傳感器、動作器(執行器)和微能源三大部分組成。微電子主要分為傳感MEMS技術、生物MEMS技術、MEMS光學掃描儀與射頻MEMS技術四大類,目前我國在傳感MEMS技術這一方面發展較為火熱。MEMS作為一項革命性的新技術,其發展關系到我國科技的發展,產業前景不可估量。

  罕王微電子(遼寧)有限公司是一家以MEMS傳感器設計及制造生產為核心的高科技中美合資企業。主營業務為MEMS高端傳感器及其配套電子產品,萊特萊德為其提供硅晶圓清洗用超純水系統。

  項目內容:

  提供硅晶圓清洗用超純水系統,產水符合美國ASTM D5127電子及半導體業用純水水質TypeE-1.2,高于中國國家電子級超純水標準GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標準。


 

  項目介紹:

  項目工藝流程:原水-預處理-雙級反滲透-脫氣系統-EDI系統-脫氣系統-拋光混床-終端顆粒去除器

  MEMS芯片設計和制造中少不了硅晶圓的身影,根據硅晶圓所需清洗用水標準,萊特萊德為其提供美標電子超純水定制工藝方案,其中,對于TOC(總有機碳)和DO溶解氧(溶解氧)等指標上要求極高。為此工藝中設置了脫氣系統,是為脫去可溶性氣體特別是二氧化碳(含量過多會導致pH值下降),這樣才能保證產出的超純水的純度。超純水系統中TOC(總有機碳)相對含量較高會影響器件性能,為此設置除TOC 裝置。最后采用終端過濾系統,避免取用超純水時受到二次污染,確保水質對顆粒物的高指標要求。

  對于此次項目萊特萊德采用BOT(建設-移交-運營)模式,前期預先繳付押金,后期每月繳付運營費用,為期五年。五年中,一切運營維護都由萊特萊德承擔,客戶可以在前期較少投資的情況下就使用到美標1.2級超純水。五年期滿后,進行設備轉讓。BOT模式對于承建企業技術水平要求較高,擁有規模大、工程周期長、經營期限長等特點,這些也決定了工程建設的難度與風險。


 

  萊特萊德EDI超純水設備

  工藝優勢:

  1、系統所用的超純水專用膜,采用膜表面高分子嫁接技術,不僅耐酸堿清洗、抗高污染,還可以加快離子遷移速度,使產水TOC在20PPB以下;

  2、系統穩定自動化程度高,產水水質穩定。采用PLC智能化程序,用戶能靈活方便地進行操作;

  3、各項指標監測嚴格,國內只有極少數公司可達到美標超純水出水指標;


 

  罕王微電子項目超純水系統整體

  隨著人們生活應用的不斷豐富,我國MEMS市場也在逐漸擴大,與此同時我國微電子行業面臨著技術上的挑戰。萊特萊德吉林快三预测吉林快三预测不僅在技術上堅持的不斷完善與創新,在后期維護處理上也盡可能做到為用戶考慮。未來萊特萊德將會多方涉及微電子行業,為我國的微電子行業增加助力!

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